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等离子体源,等离子体源,单腔ECR等离子体源,ECR同轴等离子体源 |
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2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。
电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物，例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质，提高处理效率，并减少对环境的影响
成立于2005年，北京智联兴达科贸有限公司是技工贸一体企业。公司进口射频、微波元器件；传感器及测试附件及仪器；微波等离子体源及配件；各种直流电源、交流电源、脉冲源。公司工程部面向市场设计、定制各种微波器件、电子零件市场主要面向高科技企业、高等院校、科研院所等。
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