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电子工业用氦气,氦气,检测方法 |
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电子工业中氦气检测主要应用于半导体制造过程，特别是用于检查真空系统和管道的泄漏。氦气作为一种惰性气体，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应，因此被广泛用作检漏的示踪气体。以下是关于氦气检测的一些要点：
氦气检测的应用场景
1. 真空系统检漏：在半导体制造过程中，真空环境是的。任何微小的泄漏都可能导致产品质量问题。使用氦质谱检漏仪可以高灵敏度地检测到极微量的氦气泄漏。
2. 焊接质量检测：氦气也可用于检测焊接接头的质量，确保密封性能良好。
3. 封装测试：在一些需要高度密封性的电子元件封装后，会充入一定量的氦气作为示踪剂，以检验封装是否存在泄漏。
检测方法
氦质谱检漏法：这是常用的氦气检测方法之一，通过质谱仪对氦气分子进行检测，能够达到非常高的灵敏度，可以检测到极小的泄漏率。
局部包裹法：将怀疑有泄漏点的部分用塑料袋等材料包裹起来，然后向内部注入氦气，再用氦气检测仪检测是否有氦气逸出。
背压法/正压法：对于不能直接接触或无法包裹的部位，可以通过改变压力的方式，让氦气从潜在泄漏点渗出或渗入，从而实现检测。
注意事项
在使用氦气进行检测时，要确保操作环境的安全，因为大量释放的氦气可能会造成窒息风险。
对于氦气检测设备的选择，应根据实际需求选择合适的灵敏度和响应速度。
定期校准检测仪器，以测量结果的准确性。
本公司可检测气体： 1、可燃性气体（包括沼气、煤层气、液化石油气、油井气、天然气及其他可燃性气体）
2、医用气体（包括氮气、氧气、氩气、氦气、压缩空气等）
3、食品用气体（包括氮气、氢气、二氧化碳、丙烷等）、
4、电子工业用气体（氩气、氮气、氦气、氧气、氢气、AN气、硅烷、六氟化硫等）
5、高纯气体（氧气、氮气、氩气、氦气、氢气、二氧化碳、甲烷、氪气、氙气等）
6、压缩空气（项目包含油含量、湿度/压力露点、颗粒度、颗粒物含量等）
7、其他项目（未知气体分析、有机气体检测、水质监测、金属检测、特种石油气路检测、管道气体腐蚀检测、化工品检测、石油类产品检测等）。
