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冷镜式露点仪
冷镜式露点仪，利用热电制冷器冷却露点传感器的镜面或声表面波器件，使气体中的水蒸气在露点传感器的镜面上冷凝为露或霜，光电系统自动控制平衡，使镜面上的露或霜与气体中的水蒸气呈相平衡状态，用铂电阻温度计准确测量镜面上露层或霜层的温度，从而获得气体的露点温度。
该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是价格较高，对操作人员的要求较高，并需进行维护。对污染物敏感。响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时。
该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前国际上达到±0.1℃(露点温度)，一般精度可达到±0.5℃以内。
目前世界上生产冷镜式露点仪的公司，例如美国的GE、Edgetech、瑞士的MBW等公司均是采用这一原理，英国的MICHELL则是采用双光路检测系统，即同时对反射光及散射光进行检测，芬兰Vaisala则是利用声波作检测系统。
晶体振荡式露点仪原理
利用晶体沾湿后振荡频率改变的特性，可以设计晶体振荡式露点仪。这是一项较新的技术，尚处于不十分成熟的阶段。国外有相关产品，但精度较差且成本很高。
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可燃气体报警器及所有的防爆电气设备均是以能适用于危险场所为目的进行设计的，由于电气设备的种类设备使用环境中的气体或蒸气的种半导体传感器
每个水分子都具有其自然振动频率，当它进入半导体晶格的空隙时，就和受到充电激励的晶格产生共振，其共振频率与水的摩尔数成正比。水分子的共振能使半导体结放出自由电子，从而使晶格的导电率增大，阻抗减小。利用这一特性设计的半导体露点仪可测到-100℃露点的微量水份。
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